Dos 833 MB a maioria é, com certeza, cache de disco. O Linux usa a memória livre para fazer cache de disco e dispensa esse cache quando é preciso. Assim, quanto mais tempo o SO estiver "no ar" (uptime) mais memória é consumida na função citada.
Dado no terminal o comando "free", ou "free -m" (exibe resultado em MB), vcs. vão ver quanto de memória é usada para cache (veja em "cached"), sendo que a memória realmente consumida está no "used" da segunda linha, logo após "-/+ buffers/cache: ...".
Vejam o meu resultado aqui:
pinduvoz@ubuntu:~$ free
total used free shared buffers cached
Mem: 1035008 678668 356340 0 19496 466536
-/+ buffers/cache: 192636 842372
Swap: 305224 0 305224
T +.